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一、 WAT
晶圆在从晶圆代工厂出厂前做的一道电性测试,称为晶圆可接受度测试(Wafer Acceptance Test,简称WAT),WAT测试通过的晶圆被送往封测厂。
二、CP
晶圆到了封测厂之后进行中测(Chip Probe,简称CP)。由于工艺原因会引入各种制造缺陷,导致晶圆上的的裸DEI中会有一定的残次品,CP测试的目的是在封装前将这些残次品找出来,减少后续的封测成本。
三、封测前段
1、晶圆减薄(wafer grinding)
刚出场的晶圆(wafer)进行背面减薄,达到封装需要的厚度。在背面磨片时,要在正面粘贴交代来保护电路区域。研磨之后,去除胶带。
2、 晶圆切割(wafer Saw)
将晶圆粘贴在蓝膜上,再将晶圆切割成一个个独立的Die,再对Die进行清洗。
3、光检查
检查是否出现残次品
4、芯片贴装(Die Attach)芯片贴装,银浆固化(防止氧化),引线焊接。
三、封测后段
1、注塑
防止外部冲击,用EMC(塑封料)把产品封测起来,同时加热硬化。
2、激光打字
在产品上刻上相应的内容。例如:生产日期、批次等等。
3、 高温固化
保护IC内部结构,消除内部应力。
4、去溢料
剪边角。
5、 电镀
提高导电性能,增强可焊接性。
6、 切片成型检查残次品。
封装完成后的产品还需要进行终测(Final Test,简称FT),通过FT测试的产品才能对外出货。