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半导体制造检测新突破:XARION 激光超声无损检测系统的应用

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在半导体制造领域,技术的持续进步促使芯片集成度不断攀升,其内部结构也日益复杂精细。这一趋势使得半导体器件的质量检测成为一项艰巨挑战。传统检测方法在面对现代半导体生产对精度、速度和可靠性的严苛要求时,往往显得力不从心。例如,微小缺陷可能隐匿于芯片深层结构中,常规手段难以察觉,而这些缺陷却可能对芯片性能和可靠性造成严重影响,甚至导致整个电子产品故障。XARION 激光超声无损检测系统应运而生,为半导体制造检测带来了创新解决方案。

XARION 激光超声无损检测系统

XARION 公司专注于激光声学技术研发,其推出的 XARION 激光超声无损检测系统基于激光与物质相互作用产生超声波的原理。通过向半导体样品发射短脉冲激光,激发出超声波,再利用另一束激光检测反射或散射信号,精确测量超声波参数,从而获取材料内部结构和缺陷信息。

XARION 激光超声无损检测系统具备多项显著优势:

XARION 激光超声无损检测系统

非接触式检测优势:采用非接触方式,避免对样品造成物理损伤或污染,同时减少设备磨损,提高检测效率,确保芯片完整性和可靠性。

高精度成像能力:能够清晰分辨纳米级微小缺陷,如裂纹、空洞和杂质颗粒等,助力制造商及时发现并定位问题,提高产品良品率,降低成本。

高速检测特性:具备快速扫描大面积样品的能力,可在短时间内获取大量数据,满足大规模生产需求,提升生产线产能。

深度信息获取功能:能穿透材料一定深度,获取内部不同层次结构信息,全面评估芯片质量,确保符合高标准。

XARION 激光超声无损检测系统具体应用:

在晶圆检测环节,可精准检测硅晶圆表面与内部缺陷,涵盖晶体生长及加工问题,筛选次品以节约成本、提升芯片质量;芯片封装前,能检测内部电路连接及焊接质量,提前排除隐患,增强封装成功率与电子产品可靠性;成品芯片抽检时,可监控生产质量波动,保障交付产品性能,维护企业品牌声誉。

XARION 激光超声无损检测系统在半导体检测领域占据重要地位,填补了传统检测方法的技术空白,为行业提供了更先进、可靠的检测手段。随着半导体技术发展,其将发挥更重要作用,有望成为主流检测技术,推动半导体产业进步,促进电子产品向更高性能、更小型化和低成本方向发展。

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